Vakuová technika je používána při výrobě tranzistorů, kondenzátorů, LED, solárních panelů a jiných elektronických součástek. Většina elektrotechnických procesů probíhá ve vakuu, aby se dosáhlo naprosté čistoty. Vakuové technologie suší laky, odplyňují suspenze a hrají roli v dalších výrobních procesech. Zde je přehled těch nejběžnějších.
Vakuové napařování, naprašování, pokovování a povlakování
Vakuum se používá pro napařování, naprašování kovů, elektrolytické pokovování a povlakování. Zdrojem vakua zde bývají vývěvy s kyvným pístem, které umožňují dosáhnout hlubokého vakua v jednom stupni.
Pájení ve vakuu
Vakuové pájení je technika aplikovaná při výrobě elektronických součástek, jako jsou žárovky, fluorescenční a neonové trubice, tranzistory a jiné polovodičové zařízení. Pájení probíhá při teplotách přes 400°C ve vakuové peci. Vakuum pro tyto pece obvykle zajišťují turbomolekulární a difúzní vývěvy.
Vakuum v CVD procesech
Vakuové technologie se využívají v CVD procesech, jako je plazmové čištění, plazmové leptání, CVD povlakování a pokovování. Vakuum zde je potřeba při výrobě fotovoltaických panelů, neonových trubek a jiných polovodičů.
Sušení Li-iontových článků
Při výrobě baterií je potřeba odstranit zbytková rozpouštědla a vlhkost nashromážděnou během předchozích výrobních kroků. Elektrody jsou proto sušeny ve vakuu. Tímto způsobem se připraví anodový a katodový materiál pro další procesní kroky.
Plnění a odplynění elektrolytu
Nehomogenní rozptýlení elektrolytu ovlivňuje kvalitu a snižuje životnost baterií. Proto je potřeba z každého článku před naplněním odsát plyny a vzduch. Vzhledem k tomu, že elektrolyt může silně reagovat s vlhkostí, musí být zajištěna čistota v suchých podmínkách. Tyto podmínky zajišťují vakuové technologie.
Výroba fotovoltaických panelů
Při výrobě fotovoltaických panelů jsou jednotlivé články kladeny na folii, která je poté roztavena. Nejprve je však odsán z vakuové komory všechen vzduch, aby nedošlo ke vzniku nežádoucích bublin. Odsátí vzduchu zajišťuje vakuová technika.